切割机

12英寸全自动切割机。在晶圆搬送和框架搬送间自动切换，减少了切换过程中的风险，机器停机时间也大大减少。

运用本社独特的核心技术，实现了非常小的占地面积。

占地面积小、加工速度快的半自动双轴切割机。

占地面积小、加工速度快的6英寸切割机。
搭载17英寸触摸屏，使操作性更强。
搭载了图像处理系统，可对应多样化工件。

高刚性结构，节省占地面积的8英寸切割机。
标准对应大尺寸工件的切割。

高刚性结构，节省占地面积的12英寸切割机。
对应多样化工件的切割。

独立的2个工作台的设计，使切割和对齐同时处理成为可能，实现了最大2倍的高速切割。与handle设备的连接，缩短了衔接时间，系统化工作大大提高了工作效率、使处理时间高速化。

搭载可视光显微镜的12英寸激光切割机
晶圆搬送结构
对应客户各种需求。

ML300系列已经停止生产和销售

适用于半自动切割机上切割、开槽后的工件的清洗和干燥。
二流体清洗、摆动式清洗喷嘴范围可以和晶圆尺寸配合实现优异的清洗效果。
最大可对应12英寸框架。