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      4. 光学测量机
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      光学测量机
      
					
      
					
				
      
			
      
			
					
      
					
					
      
				

      

	
        

		
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					非接触三次元表面粗さ?形状測定機<br/>
 Opt-scope（オプト スコープ/白色干渉顕微鏡）
					
				
        
					
        
						非接触三围表面粗糙度?形状测量机
        
						Opt-scope（白光干涉显微镜）
					
        
                
        
						非接触。高分辨率。范围广。
					
        
                
                          
        
                              Opt-scope R:最大300mm移动范围的自动测量台，可进行晶片晶圆的测量。
                          
        
                          

                
        
			
        
		
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					O-SELECT
					
				
        
					
        
	非接触三维表面粗糙度和形状测量仪

	Opt-scope CLW（白色干涉显微镜）

        使用白色干涉原理，可以分析以往显微镜难以测定的深孔底和齿轮齿面、圆柱内表面粗糙度和形状的便携式非接触3D表面粗糙度和形状测量机。Z方向测量范围、工作距离扩大40mm，对应各种测量工件。
        
				
        
			
        
		
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